【生卒】：1928—

【介绍】：

宁波人。中国科学院院士，微电子技术、半导体器件专家。苏联列宁格勒大学物理—数学副博士。清华大学教授、微电子研究所所长，中科院技术科学部常务委员，中国电子学会副理事长。开发3微米和1微米成套工艺技术，获国家科技进步二等奖。指导完成红外高速退火技术和设备，获国家发明二等奖。主持系统集成基础技术研究国家重大基金项目。是全国劳动模范和国家级有突出贡献的中青年科技专家。