名字 | 胡耀志 |
解析 | 胡耀志 【介绍】: 教授。 男,1937年6月出生,广东汕头人。华南理工大学无线电工程系等离子体与微细加工研究室主任。中国真空学会常务理事。清华大学毕业。 主要贡献:主要科研领域是真空与等离子体加工技术。主授课程有本科的「真空技术」和研究生课程「等离子体加工物理基础」、「微细加工物理基础」以及「固体电子学」。 科研成果全玻璃无油超高真空系统的研究,获1978年科学大会奖;罐头密封性能检测装置研究,获国家教委所颁1986年科技进步二等奖;氨检漏器的研究,获广东省科委所颁1980年三等奖;显象管慢漏快速测定的原理和方法,获广东省高教局所颁1980年三等奖;利用选择性原理校准微漏率标准漏孔,获广东省高教局所颁1983年科技成果奖;钛升华阱及升华器的研究,获广东省科技成果三等奖;等离子体辅助乾法刻蚀研究,获华南理工大学所颁1992年科技进步三等奖。 主要着述:在国际会议和外国刊物上发表论文20多篇,主要有《微漏率测量和质谱应用》、《低真空钛升华阱的特性》、《真空电子学的新拓展——微细加工和材料改性》、《钛升华阱对CCL4和C2F6的隔离特性》及《微波ECR等离子体诊断的新方法》等。 在国内刊物发表的有10多篇。 |
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