【介绍】：

教授。

男，1933年10月出生，广东大埔人。中山大学物理系教授，全国计量学会光辐射委员会理事。享受国务院特殊津贴的有突出贡献专家。中山大学毕业。

主要贡献：曾进行「杂质在半导体Si和Ge单晶中的扩散、短波灵敏度矽光电探测器」等多个项目研究。在激光与矽中杂质相互作用研究方面发现P型矽单晶转化为N型效应，其成果获广东省高教优秀科技成果奖；《LPCVD法制备a-Si，A-Sib和Uc-Si薄膜特性、掺杂效应和氢化效应的研究》，获广东省高校科技进步二等奖；「高分子湿敏电容ZC－2型」被国家科委评定为1991年度国家级新产品。

主要着述：《半导体器件物理》(合着《中山大学出版社》1988年版)，《LPCVDa-Si薄膜的缺陷补偿和掺杂》， 《LPCVD法制备硼掺杂硅薄膜特性及氢化》，「Composition Oxidation and Chemical Etching Properties of a New Amorphous Silicon-Boron Thin Film」(《一种新的掺硼矽薄膜淀积氧化和化学腐蚀特性》)，「Hydrogenation of Low-Preswre Chemical-Vapor-Deposition Silicon Thin Films」(《低压化学汽相淀积硅薄膜的氢化》)，「Doped Microcrystalline Silicon Produced by LPCVD」(《用低压化学汽相淀积法制备的掺杂微晶矽》)等20余篇。